晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)

簡要描述：Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。

產(chǎn)品型號：Nanotronics nSpec LS
廠商性質(zhì)：代理商
產(chǎn)品資料：
更新時間：2024-11-09
訪問量： 3532

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詳細介紹

　　本產(chǎn)品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結(jié)果。

　　nSpec LS是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。

　　1. 半自動晶圓缺陷檢測功能

　　·基板，外延和圖案化晶圓

　　·透明和不透明的材料

　　·在膠片膠帶，托盤，凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切

　　·光罩

　　·樣品碎片

　　2. 系統(tǒng)特征

　　·多種分辨率設(shè)置，范圍從0.25 µm及更高

　　·快速掃描

　　·可定制的缺陷報告

　　·各種樣品夾頭可滿足特定需求

　　·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析

　　·檢查和審查程序

　　·多系統(tǒng)同步

　　·占地面積小，設(shè)施要求zui少

　　·機架安裝控件

　　3. 系統(tǒng)參數(shù)

　　重量：318 kg

　　外觀尺寸(W x D x H)：53 cm x 133 cm x 176 cm

　　zui小氣壓：24 in. Hg (70 kPa)

　　電源：110v/220v, 3.5 amps

　　光學器件：

　　照明模式：Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)

　　光源：白光LED(也可選其他)

　　物鏡倍率：2.5, 5, 10, 20, 或50x，用戶可選

　　工作臺：

　　典型行程：200 mm，X和Y方向

　　定位：帶有閉環(huán)編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)

　　重復(fù)性：+/- 0.5 µm

　　行程平整度：30 µm

　　結(jié)構(gòu)：精密地面滾道和交叉滾子軸承

　　支撐平臺：顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中

　　中心負載能力：2.27 kg

　　重量：11.33 kg

　　尺寸(W x D x H)：35 cm x 37 cm x 4 cm

　　備選功能：

　　AFM原子力顯微鏡：可根據(jù)要求提供規(guī)格

　　SECS/GEM

　　透射光

　　自動傳送晶圓片

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