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晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。
晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測量內(nèi)容包括:包括 TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sag, LTV (Fullmap 測試)。